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关键组件直线电机:产生磁场以驱动动子沿着导轨移动。直线导轨:提供平滑和准确的运动路径。光栅尺:用于---位置反馈。驱动控制器:用于控制电机的运动,实现的定位和速度控制。应用领域半导体制造:在半导体制造中,直线电机平台用于控制晶圆的定位和移动。电子制造:在电子制造中,直线电机平台用于电子元器件的组装和贴装。精密直线电机平台

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